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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2011-12-2 23:50:21
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正文:
最早的掃描探針顯微鏡儀器是STM,其設(shè)計(jì)的概念早在1979年由IBM公司的Binnig和Rohrer提出,并在1982年付之實(shí)現(xiàn),其原理是利用探針與導(dǎo)體間的穿隧電流來(lái)做呈像訊號(hào),利用這儀器可在一般空氣中得到原子級(jí)的解析度,此發(fā)明亦打開了樣本表面原子排列研究之門,他們兩人也因?yàn)榇素暙I(xiàn)得到了1986年的諾貝爾物理獎(jiǎng)。由于STM應(yīng)用的是穿隧電流,所以樣本必須是導(dǎo)體才能為
功。
其后為免除樣本僅止于導(dǎo)體的限制,1985年Binnig, Quate 和Gerber發(fā)明了AFM,其原理是利用一極柔軟懸稈上探針與試片之間微小的原子力 --- van derWaals力(約為數(shù)個(gè)nN左右)做呈像訊號(hào),遂使非導(dǎo)體也可用掃描式探針顯微鏡來(lái)觀測(cè)。此舉非但大大的減少樣本觀測(cè)前的處理,并可于液相中直接觀測(cè)微觀的樣本,進(jìn)而亦可用于生物樣本上的觀察(1)。此類的發(fā)明瓶頸大開,之后更有利用不同電性、磁性的探針以偵測(cè)樣本表面電力或磁性變化的掃描探針顯微鏡被開發(fā),一再促進(jìn)了掃描探針顯微鏡在表面量測(cè)上史無(wú)前例的應(yīng)用性。
自1990年后電腦運(yùn)算與控制技術(shù)的提升,掃描探針顯微鏡更具有了原子操縱術(shù)、奈米
級(jí)的微影蝕刻術(shù)與奈米結(jié)構(gòu)製作等功能,豪邁開闊了掃描探針顯微鏡應(yīng)用的范圍。
呈像原理
掃描探針顯微鏡中被應(yīng)用最廣泛的是原子力顯微鏡,許多其他功能的掃描探針顯微鏡儀器大都架
構(gòu)在AFM原理之基礎(chǔ)上
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