顯微鏡,金相顯微鏡,生物顯微鏡,北京地區(qū)專業(yè)供應(yīng)商

3.執(zhí)行桌面NanoSpec的捷徑，將可以看到以下畫(huà)面

4.Logon

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5.選擇螢?zāi)簧纤�示之現(xiàn)有程式進(jìn)行量測(cè)請(qǐng)?zhí)�至步驟6，或是編輯現(xiàn)有的程式以符合所需，而編輯可經(jīng)由功能區(qū)之Edit￥program￥edit進(jìn)入以下畫(huà)面，如需修改程式，請(qǐng)利用複制現(xiàn)有程式至尚未使用程式：

複制001至032程式

Edit Program (Page 1):

Edit Program (Page 2): 請(qǐng)注意勾選右下角兩個(gè)選項(xiàng)

6.那還早

出現(xiàn)警告并無(wú)Filter的量測(cè)，此乃一般的狀況。請(qǐng)按下OK鍵

請(qǐng)將全黑的濾片移除并將參考晶片放置于量測(cè)平臺(tái)上，并調(diào)節(jié)顯微鏡焦距，使顯微鏡中方形框框的影像成為最清楚銳利即可，此時(shí)方可按下Ok鍵

7.之后會(huì)進(jìn)入量測(cè)主畫(huà)面如下圖：

首先輸入試樣的代號(hào)（方便之后搜尋量測(cè)的結(jié)果）

此時(shí)將試片放置于量測(cè)平臺(tái)上并對(duì)焦，使顯微鏡中的方框框最清楚，此動(dòng)作如同參考晶片的做法。

此時(shí)會(huì)出現(xiàn)量測(cè)的畫(huà)面，請(qǐng)將欲量測(cè)的點(diǎn)位置于光點(diǎn)之下并對(duì)焦之，之后便可按下【Mess】鍵進(jìn)行量測(cè)，一般量測(cè)約小于1秒鐘即可完成，此時(shí)可以于同一個(gè)點(diǎn)量測(cè)多次，以觀察其結(jié)果的再現(xiàn)度與準(zhǔn)確度，一般準(zhǔn)確度可從兩個(gè)地方看出，一為量測(cè)結(jié)果表中的Fit欄可觀察知，其值越小越準(zhǔn)且一般為小數(shù)點(diǎn)以下的數(shù)值，如下圖：

第二種判別的方法即為圖示法，請(qǐng)按結(jié)果表底下的【Graph】，將會(huì)出現(xiàn)上一次量測(cè)的光譜分佈圖如下圖，其中包括藍(lán)色與紅色的曲線，藍(lán)色表示實(shí)際量測(cè)得到的圖形，紅色則代表程式模擬的圖形，如果所得到的圖形大致相符（波峰與波谷產(chǎn)生的位置相似）表示此量測(cè)的結(jié)果是準(zhǔn)確的，其中如果厚度越后所得到的波峰與波谷越多，但如果薄膜的厚度過(guò)薄量測(cè)結(jié)果無(wú)波峰波谷只有單一曲線，則較不具可信度。

按下【Stat】則會(huì)顯示出量測(cè)結(jié)果的統(tǒng)計(jì)結(jié)果如下圖：

注意每當(dāng)移動(dòng)量測(cè)的點(diǎn)位都需要對(duì)焦的動(dòng)作，如果更換新的試片可以利用【New Test】鍵重新鍵入試片代號(hào)，當(dāng)量測(cè)結(jié)束則按【Calib】跳出量測(cè)主畫(huà)面。

8.搜尋已經(jīng)量測(cè)過(guò)的結(jié)果：

拉下功能欄中的【Data】Process Measurement Result

其中會(huì)出現(xiàn)四個(gè)方框包括：Program, User ID, Date and Time, Sample ID等四個(gè)選項(xiàng)，此四項(xiàng)選擇為搜尋的規(guī)則，最好皆設(shè)定比較容易搜尋你所要的資料。

Program：請(qǐng)加入你所想搜尋的量測(cè)程式于右側(cè)，并按Ok。

User ID：選擇你所想搜尋的使用者加入右欄并按Ok。

Date and Time：務(wù)必調(diào)整搜尋時(shí)段如下。

Sample ID：輸入試片的代號(hào)，此項(xiàng)最有利一般使用者搜尋，請(qǐng)多多利用。

設(shè)定搜尋條件后進(jìn)行搜尋，可得到搜尋結(jié)果如下：

并選擇你所需要的結(jié)果列按滑鼠兩次，即可出現(xiàn)你所指定的量測(cè)結(jié)果：

9.關(guān)機(jī)步驟：請(qǐng)于主畫(huà)面功能欄中的【Exit(Shutdown)】Exit to Windows，跳出程式回到win2000桌面，執(zhí)行正常關(guān)機(jī)步驟，待完全關(guān)機(jī)后

1. 螢?zāi)婚_(kāi)關(guān)關(guān)上，

2. 光源開(kāi)關(guān)關(guān)上

3. 蓋上防塵套于顯微鏡上