標題：CNC利用激光透過任意選取的光圈-工件測量顯微鏡
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-2-14 1:36:20
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正文:
光罩圖樣以投影方式直接加工基材簡介
一種為光罩投影（mask projection）：其加工模式是利用激光
透過光罩圖樣以投影方式直接加工基材。
另一種為
聚焦直寫（direct writing）：其加工模式是利用激光透過任意選取
的光圈，運用 CNC code 程式以單點方式直接刻除基材上欲設計之圖
樣（a）Mask Projection （b）Direct Write
藉由CNC系統(tǒng)控制工件與光罩平臺的相對運動，并配合激光重複
率（repetition rate）、能量密度（fluency）、及透鏡的數值孔徑
（numerical aperture，NA）的設定，可控制激光照射工件表面的
劑量（dose）與入射角度，使得特殊的3D為結構得以實現。
表示以控制工件平臺的運動型態(tài)進行曲面、多層、斜面結構的加工，
其原理是利用不同的工件運動型態(tài)控制激光劑量。
此外利用光罩圖樣的設計，配合工件與光罩平臺的相對運動，也可以獲得特殊的微
結構，光罩拖拉（mask dragging）加工的技巧，這個技巧其實也就
是固定光罩而移動工件平臺的加工方式，故也稱為移動工件（moving
work piece）加工。中顯示在固定T形光罩與移動工件的
加工過程當中，T形的中間部份因接受較翼臂多的激光劑量，故導致
兩層的溝槽產生。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科