標(biāo)題：精密微光學(xué)元件的設(shè)計(jì)與制作-測(cè)量金相顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-2-14 1:37:09
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正文:
在微光學(xué)元件的制程當(dāng)中，以類 LIGA 的方式制作首先必須設(shè)計(jì)
所需要的光罩，再選取適當(dāng)?shù)牟牧蟻?lái)進(jìn)行激光透過(guò)石英光罩刻寫出
需要的圖形與深度，完成之工件進(jìn)行電鑄過(guò)程制作出母模，最后以
壓模的方式進(jìn)行元件的大量生產(chǎn)。一系列詳細(xì)流程分別敘述如下。
光罩之設(shè)計(jì)與制作
對(duì)準(zhǔn)分子激光光刻而言，光罩主要是用來(lái)控制激光光束的形狀
和大小。激光光束透過(guò)光罩以后，再經(jīng)由物鏡凝聚達(dá)到足夠的能量
密度，直接在基板上蝕刻出微光學(xué)元件。
由于：
光能量（U）=光通量（Φ）×?xí)r間（T）
因此我們可藉由計(jì)算激光的蝕刻深度，換算成光罩上的面積來(lái)進(jìn)行
設(shè)計(jì)。計(jì)算出來(lái)的蝕刻深度再除以蝕刻比例常數(shù)就得到光罩上每單
佳長(zhǎng)度的面積。
其中：
蝕刻比例常數(shù)=激光加工深度/光罩相對(duì)寬度
此式之蝕刻比例常數(shù)為實(shí)驗(yàn)所得的經(jīng)驗(yàn)公式。我們所設(shè)計(jì)制作的微
光學(xué)元件有光柵繞射元件、角錐狀反射鏡、柱狀鏡、四分之一波片、
微透鏡、以及各種非球面透鏡，所以就針對(duì)上述之微光學(xué)元件而研
究設(shè)計(jì)光罩。光罩的繪圖主要是用 AutoCAD 繪圖軟體，
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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