標(biāo)題：電子掃描顯微鏡簡介-V形微結(jié)構(gòu)測量顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2013-2-15 1:14:47
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正文:
V 形溝槽的深度量測補(bǔ)償
V形特征若為單一凸特征，或者是凸特征間有較大的間距，掃瞄出特征高度，但若V溝為下凹特征，
此時(shí)實(shí)際深度大于可量測深度，底部可能是
平邊或尖點(diǎn)，由于探針的針尖是圓球狀，半徑有限，因此無法直接量測V溝深度。假設(shè)特征
為完美之下凹V形，則特征深度與掃描軌跡會(huì)相差He的高度，掃瞄軌跡深度為h，探針半徑R，
則實(shí)際V溝的深度幾何關(guān)系估計(jì)高度補(bǔ)償量He，而得到V形微結(jié)構(gòu)深度
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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