標(biāo)題：測量顯微鏡主要由激光光源、分光鏡與兩個反射鏡所構(gòu)成
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-4-17 21:05:15
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正文:
激光干涉儀是目前業(yè)界測量機臺幾何誤差之標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，其測量原理是針對三軸機臺的廿一個幾何誤差量，
藉由搭配各種型式之光學(xué)鏡組，利用不同相位之激光光交會所產(chǎn)生的光強變化進(jìn)行測量，
激光干涉儀廠皆有推出相關(guān)的測量設(shè)備產(chǎn)品。以定位誤差量測為例，
測量系統(tǒng)主要是由激光光源、一分光鏡與兩個反射鏡所構(gòu)成，而測量系統(tǒng)之架設(shè)方式，
一般為固定分光鏡與一反射鏡，并將另一反射鏡安
裝在待測軸上，如圖1所示。激光光在入射分光鏡后會分為兩道光束，并
經(jīng)由兩面反射鏡將其折回至分光鏡，產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋會隨著固定
于待測軸上反射鏡之移動產(chǎn)生明暗之變化，透過感測器偵測此變化即可計
算待測軸之實際移動量，后續(xù)只需進(jìn)一步比較待測軸預(yù)先設(shè)定之移動量，
即可獲得機臺之定位誤差。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/4167.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
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