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正文:
經(jīng)由計(jì)算后即可獲得散射光與表面粗糙度之間的關(guān)系使用6個(gè)標(biāo)準(zhǔn)金屬表面粗糙度試片進(jìn)行實(shí)驗(yàn),
其粗糙度為Ra = 0.05 μm、Ra = 0.1 μm、Ra = 0.2 μm、Ra = 0.4 μm、Ra = 0.8 μm、Ra = 1.6 μm
由不同偏振光源散射情況所獲得的光強(qiáng)分佈值并利用電腦程式進(jìn)行分析,
其結(jié)果顯示與金屬表面粗糙度Ra有良好的相關(guān)性,并將結(jié)果與
金相顯微鏡量測的影像比較。
此外,本文亦使用時(shí)域有限差分法來模擬金屬表面粗糙度的散射光場,藉以瞭解整個(gè)散射光場的情況。
因此,本論文建構(gòu)之非接觸式表面散射光量測儀,得以評(píng)估量測精密機(jī)械及光學(xué)元件的表面粗糙度。
表面加工品質(zhì)及產(chǎn)品的精度不斷的提升,加工狀況對(duì)于工件外觀、使用的功能、品質(zhì)、精度、壽命等皆有重要的影響性,
而對(duì)于機(jī)械元件及光學(xué)元件而言,表面粗糙度在機(jī)械效應(yīng)及光學(xué)效應(yīng)上占有很大的因素,
特別是表面將與其他表面發(fā)生運(yùn)動(dòng)接觸關(guān)系者,表面愈光滑其功能與效果愈佳。非接觸之表面粗糙度量測機(jī)制,
可避免量測探頭與高表面精度元件直接碰撞,若與工件表面直接接觸,對(duì)于高精密元件會(huì)造成工件表面的損傷,
因此表面粗糙度的量測已朝非接觸式的型態(tài)發(fā)展。本系統(tǒng)之非接觸式量測不會(huì)傷及工件表面且具有便利性佳及設(shè)備價(jià)格
低廉等優(yōu)點(diǎn)。量測系統(tǒng)使用高準(zhǔn)直性之紅光氦氖雷射照射超精密加工表面,以CCD接收雷射光反射之分布,
借其不同的位置之像素得到灰階值,獲得光反射及散射之效應(yīng)之關(guān)系。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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