點(diǎn)擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報(bào)價(jià)--丨--

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正文:
高于120X的放大倍數(shù)就適合采用電子
顯微鏡(SEM)
一般而言,對(duì)高于120X的放大倍數(shù),常采用掃描電子顯微鏡(SEM),因?yàn)樗?/div>
有較大的景深和較高的清晰度。遺憾的是,SEM觀察只能給出黑白圖像。
元件(用于SEM)在觀察期間通常處在真空室內(nèi),不便于電參數(shù)
測(cè)量。為了克
服這些困難,我們利用了高放大倍數(shù)的電子顯微鏡和探測(cè)臺(tái)。進(jìn)行集成電路
(IC)故障分析時(shí),將封裝(陶瓷封裝或塑料封裝)打開,露出芯片,便能對(duì)整
個(gè)集成電路進(jìn)行觀察、照相和探測(cè)。找出集成電路每個(gè)部分的輸出.這是采
用高放大倍數(shù)電子顯微鏡的主要原因。
這類顯微鏡有一些細(xì)微差別。機(jī)械圓筒的長(zhǎng)度較長(zhǎng)、185~250mm),以便
放置反射照明器具。物鏡也未對(duì)山使用樣品切片的玻璃片(它是標(biāo)準(zhǔn)透射光
型顯微鏡放置樣品切片所必需的)引起的球面像差進(jìn)行校正。在大多數(shù)情況
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北京顯微鏡百科
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