標(biāo)題：測(cè)微表面精度，計(jì)量設(shè)備無(wú)需過(guò)高的空間分辨率
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2014-7-18 22:43:26
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正文:
測(cè)微表面精度，計(jì)量設(shè)備無(wú)需過(guò)高的空間分辨率
討論(光學(xué))計(jì)量時(shí).必須區(qū)分表面計(jì)量和波前計(jì)量。正如名字所示，表面
計(jì)量是梢確淵量光學(xué)表面的性質(zhì).由于光學(xué)表面是光學(xué)系統(tǒng)的基礎(chǔ)，因而是最重
要的計(jì)量。兩個(gè)光學(xué)表面組成一個(gè)透鏡，若是反射情況。則所有光學(xué)功能由一個(gè)
光學(xué)表面承擔(dān)。對(duì)于注塑模壓成型光學(xué)元件.由于其表面是利用模具形成，因
此，還需要測(cè)量所有光學(xué)模芯的性能。所以，表面計(jì)量非常重要.
在闡述最普通的表面計(jì)最技術(shù)之前.乖要的是要了解和區(qū)分表述表面特征的
參數(shù):表面精度或形狀，表面光潔度和表面波紋度，主要根據(jù)其空間范圍對(duì)其進(jìn)
行區(qū)別
表面精度是表面的形狀，與長(zhǎng)空間波長(zhǎng)有關(guān)，在整個(gè)產(chǎn)品范圍內(nèi)進(jìn)
行測(cè)量。對(duì)測(cè)微表面精度，計(jì)量設(shè)備無(wú)需過(guò)高的空間分辨率;表面光沽度也稱為
表面粗糙度，是在一個(gè)小長(zhǎng)度范圍內(nèi)(通常1mm)確定的表面參數(shù);為了精確
淵量該參數(shù).計(jì)量設(shè)備應(yīng)當(dāng)有很高的空間分辨率;最后一個(gè)表面質(zhì)量參數(shù)是波紋
度，在許多情況下，也是最難以確定的參數(shù)。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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