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正文:
晶片截面分析用
金相顯微鏡-檢測(cè)光學(xué)儀器
采用紅外光導(dǎo)攝象管和電子掃描,或者采用一個(gè)單元件檢測(cè)
器和機(jī)械掃描就可以構(gòu)成更完善的系統(tǒng).采用機(jī)械掃描能提供更
大的附加自由度,
因?yàn)槟軌蜻x擇在所希望的任何波長(zhǎng)范圍內(nèi)都具
有最佳性能的透鏡或者鏡子和檢測(cè)器.例如,較長(zhǎng)的波長(zhǎng)有
時(shí)在勾畫(huà)雜質(zhì)濃度變化方面是有幫助的,這是因?yàn)樽杂奢d流子的
吸收是隨著波長(zhǎng)的增加而提高.由于反射率和透射率都是載流子
濃度的函數(shù),因此在檢測(cè)摻雜的變化時(shí),
紅外
顯微鏡就象常規(guī)的
金相顯微鏡一樣也能夠在反射方式下使用.
當(dāng)有可能使用時(shí),采用反射光要簡(jiǎn)便得多,因?yàn)榫趁鏌o(wú)需拋光.
不透明半導(dǎo)體的薄膜可以在不使用紅外線的情況下進(jìn)行觀察,
尤其是藍(lán)寶石上的硅,根據(jù)它的特殊的性質(zhì)(薄、背襯透明)可直
接地進(jìn)行研究
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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