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正文:
干涉
顯微鏡是用于測量微觀不平度的干涉儀,或用于測量
金屬的和其它材料的表面加工痕跡的干涉儀。如像在檢查表面形
狀那樣,按干涉條紋的彎曲量來測量微觀不平高度。而用于測欣
表而微小不平高度的光學(xué)儀器應(yīng)其有高放大倍數(shù)和分辨率。因此
干涉顯微鏡實際上是干涉儀
顯微鏡物鏡孔徑的作用為了分辨出被檢表面的狹窄痕跡(寬
度小于1微米),儀器的放大倍數(shù)應(yīng)不低于500倍,而物鏡的孔
徑要盡可能大。但是,大家知道,孔徑增大,干涉圖祥的對比度
就降低,干涉條紋的分度值就漪大,也就是千涉顯微鏡的靈放度減
小。
當儀器的分辨率不起主要作用時(例如在測量階梯高度時),
公式才是正確的。但是在測量窄刻線的深度(特別在表
而微觀峰谷的夾角很小時),物鏡孔徑越大,越接近干真實深度,
因為當用小孔徑物鏡工作時,有些劃痕的底部“模不到”。在
這種情況下的測覺誤差與物鏡的孔徑、刻線的輪廓角和其他一些
因素的相互關(guān)系還研究得不夠。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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