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正文:
除觸針式儀器外,最為廣泛使用的儀器是掃描電鏡(SEM),
它用電子束經(jīng)光柵掃描來產(chǎn)生表面的圖象。它具有高分辨率和
大的焦距,適用于研究比較平滑的表面,但用于評價(jià)粗糙表面
卻比較困難
有一種SEM分析技術(shù)使用改良型檢測器,它遵循反向散射電子的
“視線”性質(zhì)
這些以直線軌跡運(yùn)行的電子,按一定方向達(dá)到邊界值后,
沿著臨界軌跡方向產(chǎn)生表面的電子光學(xué)圖象切面,表面上升處.
即以探測器中位置的變動(dòng)而彼記錄下來,這點(diǎn)不同于標(biāo)準(zhǔn)掃描電子顯微鏡
儀器中用信號強(qiáng)弱來記錄。用該技術(shù)曾對單一剖面的輪廓進(jìn)行演示,
但不清楚沒有固定基準(zhǔn)面的情況下如何把這些輪廓結(jié)合·
起來得出三維圖象。把二次電子成象結(jié)果與觸針式儀器的光柵
掃描結(jié)果進(jìn)行逐點(diǎn)比較,結(jié)果符合得很不好
同一實(shí)驗(yàn)利用多探測器技術(shù)則得到比較好的圖象結(jié)果,
表面粗糙度平均值的各次測量結(jié)果也相互
吻合。
最廣泛應(yīng)用的粗糙度測量方法是用觸針式儀器來進(jìn)行的,
因而推想到以該儀器為基礎(chǔ)的地貌顯示技術(shù)會(huì)比上述方法好。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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