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標(biāo)題：超精加工和軟金屬表面測量粗糙度輪廓儀

信息分類:站內(nèi)新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時(shí)間:2015-3-29 18:29:15 將本頁加入收藏

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正文:

超精加工和軟金屬表面測量粗糙度輪廓儀

    用來把觸針的位移量變成電流或電壓的傳感器有兩種

基本類型；

    微形貌圖儀——由于超精加工和軟金屬表面測量的需

要以及產(chǎn)生輪廓的儀器可以進(jìn)行分析的優(yōu)點(diǎn)，致使人們?nèi)?/div>

探索一種非接觸式的輪廓測量儀，

    目前作者在研制一種形貌圖儀，這裝置利用宋一個(gè)事

實(shí)，即在非常靠近導(dǎo)電表面處安置一個(gè)尖銳的觸針，在相

對于表面具有一定的電位差情況下，放出場致發(fā)射電流，

它對于發(fā)射極和表面間和距離非常敏感。

    儀器粗調(diào)后，通過給壓電陶瓷元件施加電壓而產(chǎn)生運(yùn)

動(dòng)，壓電陶瓷的長度與驅(qū)動(dòng)電勢成正比地增加，發(fā)射尖端

半徑為10 -500nm 的場致發(fā)射體，通過X 和Y 方向的壓電

的驅(qū)動(dòng)裝置在試樣表面上掃描，一恒定電流流過發(fā)射體尖

端，在發(fā)射極表面建立起一個(gè)固定的電場，由于被測表面

（試樣）靠近發(fā)射極。

    在實(shí)際運(yùn)行中，測得發(fā)射極到試樣之間的電壓并反饋

到伺服系統(tǒng)，把適當(dāng)?shù)碾妷汗┙oZ 向壓電驅(qū)動(dòng)裝置并使發(fā)

射極到試樣到試樣的電壓保持恒定，這樣就使發(fā)射極至試

樣的間距保持不變，因此Z 向壓電陶瓷的電壓便直接和發(fā)

射極位置相對應(yīng)，并且可用以測讀出輪廓。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/6777.html 　
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