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正文:
另一方面,
微觀結(jié)構(gòu)的襯比可以采用合適的光學(xué)布置而加強(qiáng),
例如,在偏振光下觀察,利用相差襯比、干涉襯比,或者暗場下觀
察.在最后一種布置下,表面凸凹的輪廓在掠射光下被顯示出來
(比明場的垂直光下清楚).利用干涉顯微鏡可以定量
測量表面起
伏,它的豎直分辨率可以達(dá)到所用波長的1/20左右(在多光束干
采用電子波可以使用直接反射對微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察,得到較
高的分辨率.
在反封電子顯微鏡中的一束掠射電子束打到樣品表面上,散射電子
主要在對表面法線對稱的方向上,這樣就可用它們形成放大了的象
分辨率約為幾百埃,但由于觀察面是傾斜的,表面象的畸變是很嚴(yán)重的.發(fā)
針型電子顯微鏡能夠避免這種缺點(diǎn),它利用在垂直樣品表面方向
上直接放出的次級電子形成象.除用熱發(fā)射外,紫外光也是可利
用的一種初級激發(fā)輻射,在熱發(fā)射情況下,這種電子顯微鏡特別適
于對高溫過程的高分辨率觀察.
與前述的各種顯微鏡相反,掃描電子顯徽鏡不用電子光學(xué)放
大,而是用極細(xì)聚焦的電子束(直徑>200入)’掃描樣品表面.所
產(chǎn)生的次級電子束被放大,并用于控制電視顯象管上的亮度,次級
電子束的掃描系統(tǒng)是與初級電子束掃描系統(tǒng)同步的
由于光程的非對稱性,亮度,也就是從樣品上一個特定點(diǎn)發(fā)射的次級
電子束的強(qiáng)度依賴于那里的表面起伏和材料性質(zhì).
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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