標(biāo)題：在科研金相顯微鏡中觀察金相樣品腐蝕坑的形狀
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-6-7 0:10:46
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正文:
腐蝕坑略
腐蝕坑的形狀能在顯微鏡中觀察到，并可用它來
粗略地確定晶面．但它最有用的地方是可以相當(dāng)容易地確定薄的
晶片平面內(nèi)的晶向(這件事利用其它辦法是不容易解決的)．腐蝕
坑技術(shù)的應(yīng)用，關(guān)鍵在于要有選擇性很強(qiáng)的腐蝕劑，它能擇優(yōu)地顯
露某個(gè)方向．對(duì)于金剛石和閃鋅礦結(jié)構(gòu)型的晶體，專門用于
面的腐蝕劑是易于得到的并已被廣泛應(yīng)用．采用這類腐蝕劑時(shí)，
如果晶體表面原來就接近于面，應(yīng)腐蝕出在表面有三條邊的
小的倒置的三棱錐(正四面體)形的腐蝕坑；對(duì)于面，則產(chǎn)生
四邊形的棱錐；則形成金剛鉆形的腐蝕坑．
中示出了這些表面腐蝕圖形以及它們的晶向方位和相對(duì)尺度∞1．
適用于位錯(cuò)腐蝕坑研究的腐蝕劑也能用于定向工作，因?yàn)楂@得顯
示得很好的腐蝕坑(不管它的來源如何)是首要條件．許多特定的
腐蝕劑配方都列表在第2章中，以供讀者參考，也可參考專門用于
光學(xué)定向的腐蝕劑．除了常用的含水的腐蝕劑外，很多熔融金屬
也能產(chǎn)生清晰完整的腐蝕坑．對(duì)于半導(dǎo)體器件，若將其接觸材料
去除，�？砂l(fā)現(xiàn)足夠多的微小合金點(diǎn)，并可由此定出原始晶片的取
向．緩慢的蒸發(fā)(熱腐蝕)和各種高溫氣相反應(yīng)也能給出對(duì)定向
看到．否則就需要進(jìn)行腐蝕．但即使經(jīng)過腐蝕
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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