標(biāo)題：金屬化的板樣品高倍油鏡能分辨更細(xì)的特征
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-6-19 14:58:26
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正文:
金屬化的板樣品高倍油鏡能分辨更細(xì)的特征
在鉆孔并已金屬化的板上涂援抗蝕劑可以用幾種方法來實(shí)現(xiàn).多年來絲網(wǎng)印
刷一直是主要的工藝;然而，它受到可制作的最小特征尺寸的限制.盡管絲網(wǎng)印刷
方法性價(jià)比很高，但是與其他抗蝕劑涂覆方法相比它具有相對較長的準(zhǔn)備時(shí)間.
涂覆抗蝕劑的其他方法一般與光致抗蝕劑有關(guān)。這些方法包括，千膜抗蝕劑
的輥涂、液態(tài)抗蝕劑的浸印以及電泳涂搜法。后一種工藝與電鍍工藝很相似，差
別在于鍍的是聚合物膜而不是金屬膜。
干膜輥涂是一種最常用的方法，因?yàn)樵摲椒ㄏ鄬啽愫颓鍧?它也適用于目
前許多先進(jìn)產(chǎn)品所需要的制造細(xì)線條電路圖形。除了在抗蝕劑徐援上的差別，根
據(jù)它們的曝光原理和化學(xué)性質(zhì)還可分為兩種不同類型的抗蝕劑，即正性抗蝕劑和
負(fù)性抗蝕劑。盡管前者適用于分辨更細(xì)的特征，但一般不如后者常用。對于正性
抗蝕劑來說.曝光的部分被顯影去除，而對于負(fù)性抗蝕劑來說情況剛好相反(即
光線射到的表面.顯影之后依然保留)
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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