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正文:
測(cè)量表面粗糙度的接觸式儀器常稱(chēng)為觸針式儀器,其工作原
理是具有小圓弧半徑的針尖沿著被測(cè)表面移動(dòng),由表面不平度引
起的針尖垂直振動(dòng),用電感、電容、壓電、電真空或其它傳感器
變換成電流電壓波動(dòng)。
根據(jù)輸出信息的形式,這些儀器通常分為
輪廓儀一輪廓計(jì)
和輪廓計(jì)兩大類(lèi)。
輪廓儀一輪廓計(jì)
這種儀器實(shí)際上是由輪廓儀和輪廓計(jì)兩種儀器組合而成。以
輪廓圖形式記錄法向截面上不平度的儀器稱(chēng)為輪廓儀,獲得的輪
廓圖經(jīng)過(guò)處理,確定表征表面粗糙度和波度的參數(shù)。輪廓計(jì)也是
用來(lái)測(cè)量法向截面上表面不平度的儀器,它以一個(gè)評(píng)定不平度的
參數(shù)值形式,在儀器的標(biāo)尺上表示測(cè)量結(jié)果。
輪廓儀一輪廓計(jì)的原理是應(yīng)用電感式傳感器將針尖的
振動(dòng)變換成電壓波動(dòng)。該儀器由傳感器
電測(cè)單元、計(jì)算處理單元和記錄器組成。電感傳感器的磁
系統(tǒng)由雙山型鐵芯和兩個(gè)線圈組成。傳感器線圈和差動(dòng)變
壓器輸入初級(jí)繞組構(gòu)成橋路,由音頻發(fā)生器作為電源。當(dāng)傳感
器移動(dòng)時(shí);金剛石針尖與不平的表面相接觸,同時(shí)上下振動(dòng),
使得架在支承上的銜鐵也擺動(dòng)。銜鐵的擺動(dòng)改變與鐵芯的空
氣間隙,因而改變線圈的電感及差動(dòng)變壓器輸出端的電壓。如果
儀器當(dāng)作輪廓計(jì)使用,則電壓變化變換成粗糙度參數(shù),再傳給數(shù)
字讀數(shù)裝置,如果儀器當(dāng)作輪廓儀使用,則電壓變化量經(jīng)放大以
后,傳送給記錄裝置。
本儀器所用的金剛石針尖有兩種圓弧半徑;0.Ol土o.0025
mm或0.002士0.002mm
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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