標(biāo)題：測定該機(jī)件表面粗糙度光學(xué)精密測量工具顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-7-14 14:43:55
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正文:
光波干涉法 - 將一個非常平滑的鏡片，緊貼于被測定機(jī)
件之表面，借光線投射過鏡片被機(jī)件表面反射，由于機(jī)件表面不平，
故反射之光波所經(jīng)歷之途徑即有差異，因而發(fā)生光波干涉現(xiàn)魚，而在
鏡面上呈現(xiàn)黑白相問之色帶（帶），再由色帶之距離乘光波波長之
一半，即可測定該機(jī)件表面之粗糙度。此種測定法，謂之光波干涉
抉。光波干涉法，最適宜作0.8一s以上較精密表面之測定，如塊規(guī)，
分屋卡的砧座或主軸滑動面等;較粗糙的表面，用此法測定，并不適
宜。
光波干涉法所使用的鏡片，右之為光學(xué)平面鏡（光學(xué)平）
系由石英寶石磨成的圓形鏡片，采用石英為鏡片材料的原因，
乃系由于石英受熱脹冷縮的膨脹系數(shù)較小，且共質(zhì)地堅硬，
能耐磨耗所致。
光波干涉法所使用的色燈，通常均采用充有氦氣（氦氣）的
燈泡，因?yàn)榇朔N燈泡可放射綠黃色的光波，而且其波長據(jù)測定擭知為
0.0005892毫公尺（0.000023211），測定時在鏡片上每一黑白相問色帶
之長度為半個波長，即等于0.0002946毫公尺（0.0000116“）一
要明了光波干涉法的原理，須先說明光波的形式及其在空氣中傳
播的方式。氦氣燈泡所放射的綠黃色光波，其波形成正弦（（正弦）曲線
形。光波波形有波舉及波谷，波半加波谷的長度謂之波長，
波峰加波谷的高度謂之振幅。當(dāng)兩個相位（相位）相同的光
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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