標題：表面質(zhì)量檢驗精密儀器-保證精度測量微小尺寸
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-7-14 14:44:15
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正文:
表面質(zhì)量檢驗精密儀器-保證精度測量微小尺寸
微分干涉法的優(yōu)點是：具有某種程度以上光程差的光程差變化可
以用明顯的干涉對比直接地表現(xiàn)出來。
測量方法與差分干涉的要領相同，但這種干涉法的靈敏工很低，
適用于光程差特別大的情況。
表面質(zhì)量檢驗要求保證粗糙度高精度測量的統(tǒng)一，而在表面粗糙
度方面的基本測量方法和測量工具國際比對的結果指出，在測量工
具制造企業(yè)的出廠證書上所宜稱的表面粗糙度參數(shù)檢驗的計量指標
，往往與實際的不一致，因此，粗糙度測量領域的很多計量統(tǒng)一的
任務急待解決，同時，用隨機場的特征來表示粗糙度的復雜性和表
面不平度單元的微小尺寸，使這些問題的解決很困難，此外，用于
測量粗糙度的方法和工具極其復雜，同時，還應該保證能在現(xiàn)場進
行測量，但是，畢竟取得了一定的成就，并擬定了這方面工作今后
繼續(xù)發(fā)展的主要方向。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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