標題：光學(xué)測量光切顯微鏡測量來表面粗糙度的方法
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2015-7-17 15:02:48
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正文:
在光學(xué)測量法中著重利用干涉條紋的方法和光切法，利用干涉條
紋的方法以比光束干涉和往返干涉方式的干涉條紋的間隔作標準，
根據(jù)干涉條紋就可以測量表面的凹凸不平度，用觸針法其觸針尖的
半徑為2-10μm，因此，對特別小的不平度也有測定限度，對測定
如此小的凹凸不平度用干涉條紋法比較適合。
空間電容法，是將被測表面上的凹凸不平及其上面所放的平面之
間產(chǎn)生的空間容積作為靜電電容進行測量來表面粗糙度的方法，感
應(yīng)電介質(zhì)與被測表面手凹凸不平度間隙平均值，即所謂用中心線深
度表示表面粗糙度的方法，當被測物體是金屬一類良好導(dǎo)體時，采
用電容法，可以直接進行測量，如是絕緣體時，則要蒸鍍一層金屬
，才進行測量。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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