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正文:
寬、高度、厚度以及小的傾角。
干涉顯微鏡
干涉顯微鏡的結(jié)構(gòu)原理利用光波的干涉現(xiàn)象,把表
面
微觀不平度以光波干涉條紋表現(xiàn)出來(lái),經(jīng)放大后進(jìn)行測(cè)
量,這種測(cè)表面光潔度的顯微鏡,稱(chēng)為干涉顯微鏡。
干涉顯微鏡根據(jù)光路系統(tǒng)不同,分為雙光束干涉顯微鏡
和多光束干涉顯微鏡兩類(lèi),生產(chǎn)中常用雙光束干涉顯微鏡。
目前國(guó)內(nèi)使用的雙光束顯微鏡的型號(hào)很多,有國(guó)產(chǎn)的,也有
外國(guó)的,但它們的結(jié)構(gòu)原理、基本參數(shù)和使用方法基本上相
同。我們僅以上海光學(xué)儀器廠生產(chǎn)的6J型干涉顯微鏡為例,
介紹這類(lèi)儀器的結(jié)構(gòu)原理和測(cè)量表面粗糙度的方法。
光學(xué)系統(tǒng)由光學(xué)干涉系統(tǒng)和光學(xué)顯微系統(tǒng)兩部分組成。
光學(xué)干涉系統(tǒng)包括聚光鏡、物鏡、分光鏡、補(bǔ)償
鏡、物鏡及標(biāo)準(zhǔn)鏡和物鏡。光學(xué)顯微系統(tǒng)主要是目
鏡組和照相機(jī)。
由光源發(fā)出的光束經(jīng)聚光鏡后成為平行光。該平行
光投射到孔徑光欄的平面上,照明位于投影物鏡焦平面
上的視野光欄,通過(guò)投影物鏡后射到分光鏡上。分光鏡
把射到上面的光分成二部分。一部分反射,一部分透射。
當(dāng)被測(cè)表面不是理想平面,而是凸凹不平,則干涉條紋
發(fā)生曲折。干涉條紋的曲折程度與表面的微觀不平度有關(guān)。
例如,在一理想平面上有兩條深度分別為0.3和0.15微米的
戈Ⅱ痕,用干涉顯微鏡進(jìn)行觀測(cè)時(shí),就會(huì)看到這兩條劃痕引起
干涉條紋的曲折剛好是一條干涉條紋和半條干涉條紋。因
此,可通過(guò)測(cè)量干涉條紋的數(shù)目或干涉條紋的曲折程度來(lái)評(píng)
定表面微觀不平度的高度。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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