顯微鏡,金相顯微鏡,生物顯微鏡,北京地區(qū)專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商

標(biāo)題：表面形貌圖象小晶粒構(gòu)成的多晶體試樣金相顯微鏡

信息分類(lèi):站內(nèi)新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時(shí)間:2015-7-22 23:30:04 將本頁(yè)加入收藏

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正文:

表面形貌圖象小晶粒構(gòu)成的多晶體試樣金相顯微鏡

電子束器件測(cè)試  電子束探針能用來(lái)進(jìn)行半導(dǎo)體元件的某些

特殊電學(xué)測(cè)試，并且從原理上來(lái)說(shuō)優(yōu)越于機(jī)械探針，因?yàn)樗�可使：�?/div>

械損傷減至最小，而且探針的大小可以做得非常�。�它的一個(gè)缺

點(diǎn)是電子束能裂解試樣上面氣氛中的真空泵油，使得在半導(dǎo)體：琵

面沉積了一層薄的碳膜(這樣電子束信號(hào)的詮釋可能是困難的

因此不能獲得足夠多的數(shù)據(jù)來(lái)全面地表征元件的性能．

    可以使用兩種不同的操作方式．第一種是被測(cè)元件通過(guò)常規(guī)

的接觸與互連方法被偏置，而元件表面任何選定點(diǎn)的二次電子發(fā)

射被用來(lái)估計(jì)該點(diǎn)的相對(duì)電壓．第二種是在元件上只作一個(gè)外連

接線，而將電子束本身作為另一個(gè)連接線．然后從固定的接觸外連

上測(cè)量電流．當(dāng)檢測(cè)非常復(fù)雜的電路時(shí)，第一種方式是特別吸引

人的，因?yàn)樗�能從電壓襯度發(fā)現(xiàn)失效點(diǎn)

電子衍射

    當(dāng)一電子束穿過(guò)任一晶體的周期性晶格時(shí)，將會(huì)被衍射．如

果將透射電子顯微鏡的光學(xué)布置稍作改變，就能把試樣的衍射花

樣(而不是表面形貌圖象)投影在熒光屏上．如相對(duì)于光束的截面

積而言，晶體的尺寸足夠大，則將產(chǎn)生衍射斑點(diǎn)并可用晶體結(jié)構(gòu)來(lái)

詮釋?zhuān)畬?duì)于近似完整的晶體，還能看到菊池線(Kikuohi lines)；

有時(shí)可用它們來(lái)測(cè)定晶體取向．由很多尺寸比光束面積小得多

的，并且無(wú)規(guī)則取向的小晶粒構(gòu)成的多晶體試樣，將產(chǎn)生圓環(huán)狀的

衍射花樣．

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/7230.html 　
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