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正文:
高分辨率晶體結(jié)構(gòu)像技術(shù)和會(huì)聚束技術(shù)-電子
顯微鏡觀察
在掃描電鏡中,當(dāng)采用選區(qū)電子通道光路(即單偏轉(zhuǎn)搖擺聚
焦電子束光路)去觀察各種位向鎢晶體的電子通道花樣時(shí),最初
在接近位向的晶粒中觀察到一種奇異花樣疊加在正常的電
子通道花樣上
此外,根據(jù)實(shí)際觀察表明,奇異花樣的最佳成像條件不是在
電子束的搖擺樞點(diǎn)剛好在試樣表面(這是在觀察電子通道花樣
時(shí),通常所采用的電子光學(xué)條件之一),而是稍有偏離。其次,如
果減小掃描線圈電流以減小電子束的搖擺角范圍,則可以獲得更
強(qiáng)烈的奇異花樣。根據(jù)上述實(shí)驗(yàn)事實(shí)可以推測(cè),雖然奇異花樣和
電子通道花樣可能是屬于同一種電子的背散射效應(yīng),但它們之間
的襯度效應(yīng)來(lái)源不同。對(duì)于奇異花樣,其中心花樣不是反映在晶
體中所有可能的原予散射效應(yīng),而主要是反映在一定電子束搖擺
角錐范圍內(nèi)的原子散射所貢獻(xiàn)的效應(yīng)。
近代材料科學(xué)的發(fā)展,已要求深入到更高的物質(zhì)層次,如晶
體中點(diǎn)群和空間群,以及晶體中單個(gè)原子狀態(tài)去研究材料的性
能。俗語(yǔ)說(shuō)得好: “百聞不如一見(jiàn)”。因此,如何直接觀察晶體
中原子,或分析其空間點(diǎn)群,是當(dāng)前電子顯微鏡觀察技術(shù)的重要
發(fā)展方向之一。目前,這類(lèi)工作都是在透射電鏡中進(jìn)行,相應(yīng)的
觀察技術(shù)有高分辨率晶體結(jié)構(gòu)像技術(shù)和會(huì)聚束技術(shù),前者能直接
看到晶體原子排列的投影像,后者可以看到晶體的衍射像,并獲
得有關(guān)晶體的點(diǎn)陣和空間群的知識(shí)。
根據(jù)透射電鏡的成像理論,只有在電鏡具有高分辨率(幾個(gè)
埃)和電子束能量足夠大(例如幾十萬(wàn)電子伏特到幾百萬(wàn)電子伏
特),以及試樣足夠薄(50~100埃)的特殊條件下,才有可能看到
反映原子排列的投影像和衍射像。由于掃描電鏡的分辨率比較低
(目前最高是30埃),工作電壓也不高(30千伏),因此,過(guò)去認(rèn)為
掃描電鏡要實(shí)現(xiàn)上述觀察是困難的。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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