標(biāo)題：檢測(cè)產(chǎn)品上或電路參數(shù)工藝便攜金相顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2015-7-27 16:00:43
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正文:
檢測(cè)產(chǎn)品上或電路參數(shù)工藝便攜金相顯微鏡
器件評(píng)價(jià)模型化
對(duì)任何工藝控制系統(tǒng)的最關(guān)鍵和最嚴(yán)格的要求之一，是將
數(shù)據(jù)隨同器件與電路參數(shù)之間的相互關(guān)系反饋給工藝流程。必
須留出一定的余量，以把由隨后的工藝步驟所引起的變化考慮
進(jìn)去。例如后期擴(kuò)散對(duì)時(shí)間和溫度的要求改變了早期擴(kuò)散的雜
質(zhì)分布。換言之，必須有一種使工藝變量和參數(shù)同最后的器件
模型相互關(guān)聯(lián)的方法
關(guān)鍵電學(xué)參數(shù)是從硅片的各部分獲得的，然后取同一批硅
片或生產(chǎn)班次中的平均值。從性能要求和可能達(dá)到的成品率角
度分析該數(shù)據(jù)，并將其反饋給設(shè)計(jì)工程師，以供將來(lái)設(shè)計(jì)時(shí)考慮。
最后電氣測(cè)試
由于本工序要完全篩選掉在前面硅片生產(chǎn)和裝配加工過(guò)程
中所產(chǎn)生的全部電氣上不合格的廢管，因此需要一個(gè)完整的加
工過(guò)程中的質(zhì)量控制系統(tǒng)：具有樣品測(cè)試、操作人員檢查和機(jī)
器檢查。
為補(bǔ)充加工過(guò)程中的質(zhì)量控制工作，質(zhì)量控制和(或)產(chǎn)品
工程常進(jìn)行最后的廢管測(cè)試分析，以檢測(cè)產(chǎn)品上或工藝上的問(wèn)
題，從而將結(jié)果反饋給設(shè)計(jì)、加工或裝配小組以采取改進(jìn)措施。
定期校準(zhǔn)測(cè)試設(shè)備是一個(gè)十分重要的工藝控制步驟，在測(cè)
試規(guī)范中列出了允許的校準(zhǔn)誤差。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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