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正文:
光柵位移檢測裝置可用于長度或角度
測量-光學(xué)儀器
光柵
光柵位移檢測裝置可用于長度或角度測量,主要是利用
光柵的莫爾條紋現(xiàn)象及電子計數(shù)技術(shù)。由于光柵具有精度
高、穩(wěn)定性好、測量范圍大、容易實現(xiàn)數(shù)字化等一系歹ll優(yōu)點,
因此越來越被人們所重視,其應(yīng)用范圍也逐步擴大,除直接
用于長度及角度的測量之外,還應(yīng)用于與長度及角度有關(guān)的
或能轉(zhuǎn)換成長度或角度的其它物理量的測量。
所謂光柵就是在一塊長方條形的光學(xué)玻璃上,均勻地刻
上許多相互平行,間距相等的線條?叹寬
度為o,縫隙寬度為b,t=a+b,稱為光柵的柵距。條紋密
度一般分為每毫米25、50、100、200、250線等數(shù)種。
由于光柵的刻線可制作得十分精確,而莫爾條紋的間距
誤差取決于光柵刻線的平均誤差,因此這種位移檢測裝置的
測量精度很高。
光電式位移傳感器
光電式位移傳感器是光電傳感器的一種,光電傳感器是
將光量的變化轉(zhuǎn)換成電量變化的一種變換器。用這種傳感器
來測量位移量時,只需將位移量的變化轉(zhuǎn)換成光量的變化即
可。光電式位移傳感器的優(yōu)點是:(1)非接觸式測量;(2)
響應(yīng)快,可用于測量快速變形或位移(如被沖擊物的變形);
(3)分辨率高。缺點是安裝調(diào)試較復(fù)雜,并且存在轉(zhuǎn)換特
性的溫度和時間漂移問題。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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