標(biāo)題：SEM應(yīng)用于表征電鍍層立體顯微圖象-測量表面形貌儀器
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-3-21 17:04:37
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正文:
掃描電鏡(SEM)一一掃描電鏡是
一種飛點(diǎn)掃描類型的儀器，其分辨率介于透射電鏡和光學(xué)
顯微鏡兩者之問，提供了SEM應(yīng)用于表征電鍍層性
能的說明事例．掃描電鏡的對(duì)比度受到許多因素的影響，二次
電子的數(shù)目強(qiáng)烈地取決于探測區(qū)域的斜坡，甚至更強(qiáng)烈地由試
樣上所出現(xiàn)的尖銳刃邊而定．試樣表面上的電場由于鄰近電極
的電勢(shì)而引起在突出部位增強(qiáng)發(fā)射．產(chǎn)生二次電子的效率取決
于：電子束撞擊表面處特定元素的狀況、檢晶器外露出的表面
積、有無吸收層及其工作特性等．對(duì)比度的變化率取決于放大
器的增益系數(shù)．由于這些原因，非常不利的情況是把刃邊和亮
的以及暗的區(qū)域錯(cuò)誤解釋為形貌的信息．立體對(duì)偶是基本的要
求，即使對(duì)顯微圖形作較好的定性解釋也如此．下功夫分析成
對(duì)的立體顯微圖象可以獲得定量信息．
形貌圖的分辨能力
用于測量表面形貌儀器的實(shí)用性，取決于它能同時(shí)測量水
平方向和垂直方向兩點(diǎn)之間的間隔的能力．形貌圖的分辨能力
是由所用儀器的水平和垂直分辨率的乘積決定的．表丑列出了
在典型的工作條件下，上述儀器的水平、垂直和形貌圖的大致
分辨能力．包括透明電鏡的參數(shù)可供參考．注意：所有現(xiàn)用儀
器都有1000平方nm左右的形貌圖分辨率．
用什么儀器能最方便和最經(jīng)濟(jì)地測量出被測零件的表面形
貌?用什么尺度去衡量它?若要使零件正常地工作，什么表征參
數(shù)或函數(shù)是主要的測定項(xiàng)目?應(yīng)該依據(jù)算術(shù)平均值、峰點(diǎn)計(jì)數(shù)、
平均波長、最大峰谷高度或支承面積曲線來分類?為獲得所期望
的表征特性，需要對(duì)儀器的輸出信號(hào)作什么分析?在不妨礙實(shí)現(xiàn)
零件功能的條件下，所選用的表征參數(shù)的允許界限是多少?為修
正超差的零件，在制造工藝方面會(huì)引起多大變革?
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8185.html
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