標(biāo)題：真空涂層過程產(chǎn)品的質(zhì)量技術(shù)分析圖像顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-5-26 21:37:41
將本頁加入收藏
下一篇：測淀積溫度應(yīng)用兩種類型的溫度計：高溫計和熱電偶
上一篇：激光焊接非常精密的功率測量多功能圖像顯微鏡
點擊查看產(chǎn)品參數(shù)和報價--丨--
---
---
---
正文:
真空涂層過程產(chǎn)品的質(zhì)量技術(shù)分析圖像顯微鏡
真空涂層過程參數(shù)監(jiān)測需求
在多參數(shù)過程中，傳感系統(tǒng)主要分為兩類。第一類集中在試車階段，包括涂
層裝置的測試和校準(zhǔn)。在這方面，控制系統(tǒng)用于研究和開發(fā)，也用于涂層裝置制
造商和科研協(xié)會的維修部門。由于這些原因，所用的這類裝置是可拆裝的、復(fù)雜
的、昂貴的，然而，它體現(xiàn)了在涂層過程傳感系統(tǒng)上的技術(shù)發(fā)展水平。第二類包
括固定的傳感系統(tǒng)，它和涂層裝置一起穩(wěn)定地工作，是涂層制造者，例如，此裝
置的最終用戶，是監(jiān)測涂層過程所必需的。第一批傳感系統(tǒng)確保涂層裝置有很好
的構(gòu)造并標(biāo)準(zhǔn)化，而第二群組是確保最終產(chǎn)品的質(zhì)量，例如，涂層部分。在這一
在原位的涂層過程監(jiān)測，遵循和其他的自動系統(tǒng)相同的基本原理。關(guān)系到被
監(jiān)測的參數(shù)的重要性和調(diào)整的可能性，為了優(yōu)化涂層過程，可設(shè)計成開路或閉路
控制系統(tǒng)。因此，有些參數(shù)必須持續(xù)檢查而不是調(diào)整，然而其他參數(shù)與反饋系統(tǒng)
結(jié)合，可通過它們調(diào)整淀積過程。適應(yīng)性控制的原理在過程參數(shù)后一組中的應(yīng)用
范圍很廣。在每一種情況下，考慮到有限的薄膜厚度和其精密的特征，涂層過程
對任何淀積參數(shù)的修改都非常靈敏，甚至是瞬間的。因此每一個涉及到的傳感系
統(tǒng)必須有較高的分辨率、精確度、重復(fù)性和可靠性。這些需要將傳感器、電子裝
置和所測量值的讀值工具聯(lián)系在一起，組成了傳感器系統(tǒng)。
此類裝置的制造商一定要考慮的一個更進一步重要的參數(shù)是確保傳感器也
被涂層，但不會降低其靈敏度。為了這個目的，當(dāng)必要時，過程傳感器通過特
殊的過濾器或離子阱保護起來，傳感器被看作為過程備件。另一方面，有的傳
感器，例如，用于淀積速率監(jiān)測的石英晶體，當(dāng)涂層逐漸增多時，可改變其指
示。因此，在每一個涂層過程終止時，為了監(jiān)測接下來的淀積過程，必須使其
回原處。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8442.html
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商
北京地區(qū)金相顯微鏡專業(yè)的供應(yīng)商