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正文:
不同的加工技術(shù)有其各自的特點、加工性能和適用范圍
傳統(tǒng)精密機(jī)械加工技術(shù)面向三維形狀,對加工對象的材料
適應(yīng)性強(qiáng),能夠解決微小型系統(tǒng)承載結(jié)構(gòu)件和系統(tǒng)微小型化的問題
。目前精密機(jī)械、電子、光學(xué)等領(lǐng)域有大量的精密微小型零件都是
采用傳統(tǒng)精密機(jī)械加工工藝和精密機(jī)床制作的。
微小型制造技術(shù)與MEMS(Micro Electro Mechanical Syst
em)技術(shù)的主要差異是在所使用的材料和制造工藝方法上。微小型
制造技術(shù)集中于
金屬的機(jī)械制造工藝,利用工具成型幾何表面,能
適應(yīng)多種材料,而MEMS技術(shù)集中于由半導(dǎo)體制造工藝發(fā)展而來的工
藝方法和相關(guān)材料。微小型制造技術(shù)適于單個加工,而MEMS技術(shù)適
于批量制作。微小型制造技術(shù)面向于三維可動微小零件、機(jī)構(gòu)和裝
置,而MEMS技術(shù)趨向于平面微機(jī)械零件和MEMS器件。
不同的加工技術(shù)有其各自的特點、加工性能和適用范圍。
現(xiàn)階段普遍認(rèn)為,有潛力的、適合于微小型制造的加工技術(shù)有激光
微納加工、超聲波微細(xì)加工、磨料流動微細(xì)加工、微細(xì)電火花加工
(Electrical Discharge Machining,EDM)、微細(xì)電化學(xué)加工(Elee
trical Chemical Machining,ECM)、微細(xì)銑削、微細(xì)鉆削、微細(xì)
磨削、聚焦離子束(Focused Ion Beam,F(xiàn)IB)加工、微細(xì)
立體光刻(
Stereolithography,SL)、微沖壓、微擠壓、流體噴射微細(xì)加工和
微粒沖壓等。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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