標(biāo)題：非球面設(shè)計(jì)用顯微鏡直接測量條紋的位置
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-7-2 23:03:42
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正文:
重要的是要考慮到被檢表面可能沒有旋轉(zhuǎn)對稱性，因此必須沿幾個(gè)
徑向進(jìn)行測量，以獲得有關(guān)表面的完整信息�？捎门臄z條紋照片的
方法代替用顯微鏡直接測量條紋的位置，然后用普通的方法測量條
紋的位置。
如果基準(zhǔn)面是球面，被檢面是非球面(雙曲面或拋物面)，那么
從檢驗(yàn)球差的泰曼．格林(Twyman—Green)干涉儀上得到的干涉圖
樣就是理想的條紋圖樣。
基準(zhǔn)面也可以是另外一個(gè)與被檢面的理想形狀完全匹配的非球
面。這種方法對于制作凸非球面很有用，因?yàn)橥狗乔蛎娴闹谱骱蜋z
驗(yàn)要比凹非球面的制作和檢驗(yàn)更復(fù)雜。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是零補(bǔ)償檢
驗(yàn)。其缺點(diǎn)是兩個(gè)表面共軸調(diào)整要求非常苛刻，因?yàn)閮蓚�(gè)面都有嚴(yán)
格限定的軸，在檢驗(yàn)過程中必須使這兩軸重合。但這問題并不難解
決，只要有一些實(shí)際操作經(jīng)驗(yàn)和一些能夠精細(xì)調(diào)節(jié)的設(shè)備就可以進(jìn)
行共軸調(diào)整。
非球面光學(xué)元件的基本特點(diǎn)
表面形狀的質(zhì)量
球面表面具有一個(gè)固定的曲率半徑，可以采用大接觸面積的磨頭
加工，這些磨頭只要正確操作，即使經(jīng)過長時(shí)間的使用，仍具有很
好的品質(zhì)，沒有明顯的質(zhì)量退化。另外，這些磨頭在隨機(jī)路徑上運(yùn)
動，可以避免元件表面“帶狀”疵病的產(chǎn)生。因此，即使使用相對
簡單的機(jī)器，都可以加工出高質(zhì)量的球面表面。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/8593.html
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