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正文:
磨削和拋光加工-獲得高質(zhì)量的表面面形和紋理
而非球面表面隨著表面位置的不同其曲率半徑也不同,需要很
小的磨頭進行磨削和拋光。這些磨頭的質(zhì)量容易退化而使加工過程
不穩(wěn)定,同時需要精密的機床控制和復(fù)雜的校正程序,即使如此,
隨機產(chǎn)生疵病的可能性依然非常大。另外,能夠在500nm范圍內(nèi)達
到lnm的
測量精度的
精密測量方法是必不可少的。由于必須經(jīng)常采
用幾個修正循環(huán),光學(xué)元件表面的波紋不可能完全避免,而必須設(shè)
置其公差值。
表面紋理的質(zhì)量
小接觸面積磨頭在加工過程中有確定的工作路徑,只能在很小
的空間內(nèi)隨機運動,從而導(dǎo)致表面紋理質(zhì)量的下降。為了獲得和球
面一樣的拋光質(zhì)量,需要更多的技術(shù)改進,例如,拋光時采用更小
尺寸的拋光頭,從10微米尺寸降到3微米尺寸,采用更小的拋光壓
力,從而延長拋光時間。因此,相對于拋光相同質(zhì)量的球面,拋光
非球面需要更長的時間。最近,在拋光技術(shù)方面有了新進展,例如
磁流變拋光技術(shù)(合適的拋光液)可以用來拋光各式各樣的光學(xué)元件
表面,同時可以獲得高質(zhì)量的表面面形和紋理。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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