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正文:
光學(xué)
顯微鏡不同分辨力和不同視場情況下
測量需要不同
光學(xué)車間檢測
掃描隧道顯微鏡
在掃描隧道顯微鏡(STM)中,
金屬的針尖向待測導(dǎo)體或半導(dǎo)體表
面靠近,直到能夠在針尖和待測表面之間檢測到隧道電流。為了“
感知”隧道電流,必須在針尖和待測表面施加電壓。為了達(dá)到原子
量級(jí)的分辨力,針尖僅有一個(gè)原子和測試表面產(chǎn)生相互作用。只有
當(dāng)針尖到表面的距離小于1nm時(shí),才能成功感知到隧道電流。探針
離表面的距離越近,隧道電流就會(huì)呈現(xiàn)指數(shù)規(guī)律增長℃.1 nm的距
離變化,就會(huì)使隧道電流變化達(dá)到10個(gè)數(shù)量級(jí),這也使STM具有了
原子量級(jí)的測量靈敏度。利用壓電陶瓷(PZT)可以將探針控制在待
測表面上方幾十埃(A)的空間范圍內(nèi),并呈光柵模式掃描。STM只能
檢測導(dǎo)體的表面,這限制了它的應(yīng)用,其圖像的分辨力很大程度上
依賴于針尖的幾何形狀
就像光學(xué)顯微鏡在不同分辨力和不同視場情況下測量需要不同
的放大倍數(shù)一樣,STM在使用時(shí),為了改變橫向、縱向分辨力和掃
描范圍,需要對(duì)掃描頭使用的探針大小和掃描范圍進(jìn)行選擇,較大
的STM掃描范圍與高倍光學(xué)
輪廓儀及高分辨力的探針
輪廓儀的測量
范圍相互有交叉。由于STM需要能導(dǎo)電的待澳4表面來產(chǎn)生隧道電流
,像玻璃這種物質(zhì)就不能被測量。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京顯微鏡百科
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