標題：共焦顯微鏡用來測量透明膜層厚度-表面輪廓檢測
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2016-7-3 21:15:41
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正文:
用于表面輪廓檢測的共聚焦系統(tǒng)的工作方式相當(dāng)于一個在待測
表面上進行掃描的焦點探測系統(tǒng)。在一些情況下，比如使用信號的
重心或者用多項式擬合取代簡單的最大輻射位置來確定信號的位置
，信號軸向點擴散函數(shù)的位置通�？梢源_定下來。軸向點擴散函數(shù)
的寬度和樣品等級也會對確定信號位置的一致性產(chǎn)生影響，進而影
響到垂直分辨力。軸向信號越窄，垂直分辨力就越好，這是因為最
佳垂直分辨力依賴于物鏡的NA及放大率。表面輪廓的垂直分辨力通
常定義為差值測量的RMS值。垂直分辨力還決定了被測樣品上能夠
測量到的最小高度。
對于光滑表面而言，垂直分辨力在幾個納米量級，但只針對高
倍率物鏡。對于低放大倍率的物鏡，垂直分辨力大概在10～15nm至
微米量級。這種垂直分辨力通常也稱為方法靈敏度。
共焦顯微鏡通常用來測量透明膜層的厚度，其處理方法稱為光
學(xué)限幅。光線透過物體，在膜層界面發(fā)生反射，從而產(chǎn)生額外的軸
向響應(yīng)。共焦顯微系統(tǒng)的光學(xué)限幅技術(shù)常常用來對諸如生物細胞、
半導(dǎo)體工業(yè)中的透明涂層進行測量。在這些情況下，垂直分辨力也
有了不同的定義，其定義要適用于可測量的光學(xué)厚度
軸向垂直分辨力的定義基于信號的垂直兩點的分辨力，而軸向信
號的寬度又決定了這個分辨力，這種情況下，軸向垂直分辨力也就
是最小可測量的光學(xué)厚度。對于大NA的物鏡，光學(xué)限幅的垂直分辨
力可達到1．5微米，這比與測量臺階高度相關(guān)的垂直分辨力要大得
多。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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