標(biāo)題：測(cè)量如角度、直線度和垂直度測(cè)量測(cè)量光學(xué)儀器
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-9-18 3:14:44
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正文:
測(cè)量如角度、直線度和垂直度測(cè)量測(cè)量光學(xué)儀器
激光測(cè)量系統(tǒng)概述
激光測(cè)量系統(tǒng)提供給機(jī)床制造商和用戶機(jī)床精度定位必要的基
本的測(cè)量組成部件，使用補(bǔ)償數(shù)據(jù)校正機(jī)械的定位誤差。其基本系
統(tǒng)包括一個(gè)激光光源、補(bǔ)償電子器件、光學(xué)器件、電纜及配件。通
常需要一臺(tái)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)和光學(xué)部件滿足機(jī)械幾何性能的具體測(cè)
量要求。為了校準(zhǔn)，整個(gè)系統(tǒng)應(yīng)能夠收集和分析不同的測(cè)量數(shù)據(jù)，
包括線性誤差、角度誤差、直線度誤差和垂直度誤差。一個(gè)線性激
光的測(cè)量分辨率可高達(dá)1 nm。這是測(cè)量過程可以實(shí)現(xiàn)的高精度，它
使用了以精確激光波長(zhǎng)為基礎(chǔ)的距離測(cè)量計(jì)算，從而相比其他的測(cè)
量系統(tǒng)具有更高的精度。兩頻率激光技術(shù)還經(jīng)常用來消除光束強(qiáng)度
變化所造成的種種問題，從而得到更好的魯棒性和可靠性。激光束
基本上沿著干涉儀和相關(guān)反射鏡之間做相對(duì)運(yùn)動(dòng)，所以大多數(shù)激光
測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行的測(cè)量是一種線性測(cè)量。大多數(shù)情況下，干涉測(cè)量?jī)x
是固定的光纖，角錐棱鏡是移動(dòng)部件。其他測(cè)量如角度、直線度和
垂直度測(cè)量，是基本線性測(cè)量實(shí)現(xiàn)的特殊應(yīng)用。在許多激光測(cè)量系
統(tǒng)中，誤差補(bǔ)償表在激光測(cè)量和控制輸入獲得后可以自動(dòng)生成。這
些表可用于伺服系統(tǒng)。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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