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納米表面分析與掃描探針顯微鏡技術(shù)

課程說明：對于許多新潁材料與元件，特別是現(xiàn)今線寬已進(jìn)入納米尺度的半導(dǎo)體的製程技術(shù)而言，如何量測、分析納米尺寸下的表面形貌、成分與排列、電性、磁性、發(fā)光特性、生物體等已成為迫切的課題。而掃描探針顯微術(shù)正好提供了全方位的納米尺度量測分析與操控的能力，成為現(xiàn)今納米科技中不可或缺的一項重要工具。

本課程將介紹掃描探針顯微鏡、顯微能譜技術(shù)，及各種衍生顯微鏡之基本技術(shù)與原理，并介紹如何利用這些掃描探針顯微術(shù)來顯影生物分子狀態(tài)、表面與薄膜的空間靜電荷、
表面電位、薄膜電容、表面電阻、載子濃度、壓電、磁區(qū)分怖特性等，這些物理性質(zhì)的納米
級量測與分析將對未來生物科技、半導(dǎo)體製程與材料特性的瞭解有相當(dāng)大的助益。