標題：表面輪廓儀怎樣量測微小下凹特征-金相顯微鏡廠家
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-1-10 1:12:28
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正文:
表面輪廓儀雖然無法直接量測微小下凹特征
表面輪廓儀雖然無法直接量測微小的下凹特征，藉由探針半徑校正方式與V溝高度與寬度量測補償機制，
可解決微米級下凹V溝的高度量測的問題，且不受試片透光性的影響，
量測結果與電子掃瞄顯微鏡或是共軛焦顯微鏡所能量測到的特征尺寸非常接近。
量測的結構寬度在5 μm與15 μm之間，探針半徑2 μm、探針頂角45°的條件時，誤差在4%左右，
驗證此方法的實用性。限于V溝的深度量測補償，若無法確認探針未接觸到的部分特征可近似為V形時，
則不適用。但在應用于導光板V溝模具與成形精度量測時，此法將可提供一準確與實用的檢測方式
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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