標題：實驗室電子掃描顯微鏡測量試片表面形貌的原理
信息分類:站內新聞
作者:yiyi發(fā)布
時間:2013-4-16 21:15:07
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正文:
掃描電流顯微鏡
掃探電流顯微鏡是一種以原子力顯微鏡(atomic force microscope)的架構
為基礎并搭配電流-電壓(I-V)量測技術的電性掃描探針顯微鏡，因此也具備了原子力顯微鏡的基本架構與功能。
所使用的掃描電流顯微鏡位于國家納米元件實驗室，以接觸模式來進行掃描分析，
掃描電流顯微鏡的基本架構示意圖，由圖中可以得知其架構大致上包含探針、雷射光源、
光偵測器、壓電陶瓷掃描器、回饋電路、訊號放大器、低頻濾波器及訊號輸出系統(tǒng)。
掃描電流顯微鏡取得樣品表面形貌的原理與原子力顯微鏡的操作原理相近，
然而兩者之間最大的差異是掃描電流顯微鏡選用了導電探針，
如表面鍍上金屬薄膜或導電鉆石薄膜的探針，當導電探針與樣品接觸形成迴路，
掃描電流顯微鏡便可量取電流值，使得掃描電流顯微鏡可同步獲取試片表面形貌與其對應的電流訊號影像。
一般而言，在掃描電流顯微鏡進行閘極氧化層量測時，會施予一偏壓于試片底部，
透過針尖直徑約為20納米的導電探針擷取其電流訊號，由高電場導致氧化層崩潰(oxide break-down)而產生的漏電流，
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科