標(biāo)題：檢查工件的尺寸、平面度、平行度-光學(xué)測量儀器
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-6-16 12:19:39
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正文:
檢查工件的尺寸、平面度、平行度-光學(xué)測量儀器
光波測量
·使用光學(xué)平晶檢查工件的尺寸、平面度、平行度。
·描述激光干涉儀的操作。
·掌握關(guān)于激光測量的應(yīng)用。
兩種最為精確的測量方法是分別使用光學(xué)平晶和激光測量。盡管
基于不同原理，但它們都是使用單色光光源來保證測量的精確性。光
學(xué)平晶的測量
最為精確和可靠的測量方法之一就是使用光波測量。光學(xué)平晶使
用單色光來檢測工件的平面度、平行度及尺寸。光學(xué)平晶就是一塊潔
凈的石英圓盤，被研磨到不平度小于百萬分之一英寸。通常使用氦光
光源，氦光可以提供光波長度為23．1323μm(O．587 56μm)的黃綠
光。
光學(xué)平晶，是一塊非常平的透明圓盤，通常放在工件的表面進(jìn)行
檢測。光學(xué)平晶的功能表面是靠近工件的表面。它是透明的，可以反
射光，因此所有光波照到它的表面上，然后被分成兩部分，一部分光
波被平晶的下表面反射，另一部分穿過平晶表面由工件的上表面反射
。無論這兩部分反射光什么時(shí)候相互穿過或者干涉，它們都是可見的
并產(chǎn)生暗的干涉帶或干涉條紋，這種情況只發(fā)生在當(dāng)工件的上表面和
平鏡的下表面的距離只有半波長的時(shí)候。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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