標(biāo)題：輪廓儀給出了光滑和粗糙表面的形貌分析顯微鏡
信息分類:站內(nèi)新聞
作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-7-4 15:05:06
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正文:
干涉光學(xué)輪廓儀的其他名稱
用于工程表面測量，具有軸向掃描的白光干涉測量技術(shù)有不同
的分類，而且還可以發(fā)現(xiàn)使用了以下一些名稱：
白光干涉測量(WLI)
垂直掃描干涉測量(VSI)
低相干干涉測量(LCI)
相干探針
光學(xué)相干輪廓測量(OCP)
光學(xué)相干顯微鏡測量
掃描白光干涉測量(SWLI)
白光掃描干涉測量(WLSI)
相干探頭顯微鏡測量(CPM)
相關(guān)顯微鏡測量
相位相關(guān)顯微鏡測量
干涉顯微鏡
顯微干涉測量
寬帶干涉測量
全域光學(xué)相干斷層成像
寬域光學(xué)相干斷層成像
相干雷達(dá)
條紋峰值掃描干涉測量
對于生物標(biāo)本，同樣的測量方法主要叫做光學(xué)相干斷層成像(OCT
)，但也叫做時(shí)域光學(xué)相干斷層成像(TD．OCT)、相干雷達(dá)或共焦干
涉顯微鏡。波長掃描干涉儀
可替代白光和多波長干涉儀的是光譜干涉儀，在較寬的波長范
圍內(nèi)，光譜干涉儀利用了光譜干涉條紋。光譜干涉條紋可以通過光
源波長的掃描或者利用分光計(jì)將白光條紋分散開來得到。
利用波長掃描的光譜干涉測量所使用的裝置基于典型邁克耳遜
干涉儀，所不同的是其光源是波長可調(diào)諧的。為了找到每一點(diǎn)對應(yīng)
的最佳的聚焦位置，這個(gè)系統(tǒng)不需要像在典型的共焦顯微鏡中進(jìn)行
的逐點(diǎn)軸向機(jī)械掃描，或者在白光干涉測量中的軸向場掃描那樣。
代替這些的是，對光源的波長進(jìn)行掃描，從而觀察到不同頻率的條
紋，這樣被檢物體相對于參考反射鏡的高度就可以確定了。這種波
長掃描輪廓儀給出了光滑和粗糙表面的形貌，
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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