標(biāo)題：線性誤差可能有各種來源-以及直線度誤差
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作者:yiyi發(fā)布
時(shí)間:2016-9-17 13:48:23
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正文:
線性誤差可能有各種來源-以及直線度誤差
線性誤差
線性誤差可能有各種來源，包括沿導(dǎo)軌的幾何缺陷和測量偏移
／誤差。對于所研究的XY工作臺，最大的誤差可能是來自于螺紋運(yùn)
動(dòng)產(chǎn)生的非線性和反彈的有關(guān)誤差。
螺紋運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。機(jī)械接觸的空氣間隙可能導(dǎo)致實(shí)際的位移發(fā)生較
大變化。這或許也解釋了正向和反向線性誤差測量的差異。
直線度誤差
直線度誤差主要源于導(dǎo)軌。直線度誤差測量是與一條參考直線的
垂直偏差得到的。對XY工作臺直線度誤差，有兩個(gè)組成部分是可以
確定的，即與沿y軸線偏差有關(guān)的X軸直線度，以及與沿X軸線偏差
有關(guān)的y軸直線度。任何誤差軟件補(bǔ)償計(jì)劃的成效非常依賴于由規(guī)
定的校準(zhǔn)方法獲得的幾何誤差信息的可靠性。通過誤差補(bǔ)償，系統(tǒng)
組成部分的幾何誤差是相關(guān)的。隨機(jī)性質(zhì)的誤差不能得到補(bǔ)償。機(jī)
械校準(zhǔn)過程中獲得的誤差測量將不可避免地包含系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤
差兩個(gè)部分。為正確補(bǔ)償系統(tǒng)誤差，有效地分開這兩個(gè)組成部分是
至關(guān)重要的。現(xiàn)有的誤差補(bǔ)償方法中大多數(shù)都沒有充分解決系統(tǒng)誤
差補(bǔ)償中隨機(jī)誤差的影響。補(bǔ)償?shù)膸缀握`差通常以誤差校準(zhǔn)樣本的
平均值為基準(zhǔn)。這個(gè)均值基本上假定為一致的系統(tǒng)組件可補(bǔ)償?shù)恼`
差，因?yàn)殡S機(jī)誤差假設(shè)是過濾后的過程平均值。不幸的是，基本上
這是不正確的，平均值的補(bǔ)償可能導(dǎo)致嚴(yán)重不當(dāng)?shù)难a(bǔ)償，尤其是當(dāng)
校準(zhǔn)過程中存在著明顯的隨機(jī)誤差。在校準(zhǔn)工作中，由于短期和暫
時(shí)的干擾或噪聲出現(xiàn)的無效樣本或異常值，可以扭曲平均值偏離實(shí)
際的系統(tǒng)誤差，因而使用誤差平均值可能導(dǎo)致不足或過多補(bǔ)償。因
此，采用一種加權(quán)方法考慮在誤差樣本中不同程度的隨機(jī)誤差分量
發(fā)生的概率，可以更準(zhǔn)確和更可靠地提取系統(tǒng)誤差補(bǔ)償?shù)臄?shù)據(jù)集。
這樣的統(tǒng)計(jì)方法需要大樣本集進(jìn)行校準(zhǔn)，以便有足夠大的數(shù)據(jù)存儲
密度運(yùn)作。這樣也導(dǎo)致了自動(dòng)化技術(shù)、基于DSP的數(shù)據(jù)記錄和分析
系統(tǒng)的應(yīng)用。
出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科
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