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標(biāo)題：電子顯微鏡激光反射光位置隨著微懸臂梁擺動(dòng)而產(chǎn)生變化

信息分類:站內(nèi)新聞　　 作者:yiyi發(fā)布　　 時(shí)間:2016-12-26 0:59:15 將本頁(yè)加入收藏

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正文:

電子顯微鏡激光反射光位置隨著微懸臂梁擺動(dòng)而產(chǎn)生變化

 原子力顯微鏡工作原理

  原子力顯微鏡的硬件包括三個(gè)主要的系統(tǒng)：力檢測(cè)系統(tǒng)、位置檢

測(cè)系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)。

    力檢測(cè)系統(tǒng)主要測(cè)量體系中原子與原子間的范德華作用力，但

也可通過(guò)不同模塊的選擇測(cè)量電荷力和磁力等長(zhǎng)程力的作用，以獲

得待測(cè)樣品表面多方面的物理化學(xué)信息。在力檢測(cè)系統(tǒng)中使用探針

上的微懸臂梁來(lái)檢測(cè)針尖與樣品間各種短程和長(zhǎng)程力的變化量。所

以原子力顯微鏡的探針具有不同的性質(zhì)和規(guī)格，比如長(zhǎng)度，寬度，

針尖形狀及彈性系數(shù)。操作人員可以通過(guò)樣品的特性選擇不同的探

針以及操作模式，來(lái)獲得研究人員所感興趣的樣品表面信息。

    原子力顯微鏡目前常用的方式是激光檢測(cè)，其中原子力顯微鏡

的探針由基座，微懸臂梁，針尖頭組成，微懸臂梁通常由一個(gè)100

～500微米長(zhǎng)和約500nm～5微米的硅片或氮化硅片制成。對(duì)微弱力

極其敏感的微懸臂梁一端由基座固定，另一端上通過(guò)相關(guān)工藝?yán)��?/div>

一個(gè)納米級(jí)別的微小針尖。在形貌成像的過(guò)程中，探針通過(guò)接觸或

者輕敲的模式與樣品接觸將一個(gè)微小針尖在逼近樣品后，由于針尖

尖端原子與樣品表面原子間存在微弱的排斥力作用，在掃描過(guò)程中

通過(guò)壓電陶瓷管的伸縮控制這個(gè)排斥力的恒定。

    位置檢測(cè)系統(tǒng)是基于原子力顯微鏡的針尖與樣品相互作用之后

，使微懸臂梁因受力不同而擺動(dòng)，因此當(dāng)激光照射在微懸臂梁末端

時(shí)，激光反射光的位置也會(huì)隨著微懸臂梁的擺動(dòng)而產(chǎn)生變化，導(dǎo)致

激光光斑在四相檢測(cè)器上的光強(qiáng)產(chǎn)生偏移量的變化。位置檢測(cè)系統(tǒng)

在這個(gè)過(guò)程中實(shí)時(shí)記錄下在樣品表面光斑位置偏移量的變化并轉(zhuǎn)化

為電信號(hào)，以供原子力顯微鏡的控制器做反饋系統(tǒng)的處理。

出自http://www.bjsgyq.com/北京顯微鏡百科

特別聲明：本文出自北京上光儀器有限公司-未經(jīng)允許請(qǐng)勿轉(zhuǎn)載，本文地址：http://www.bjsgyq.com/news/9279.html 　
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