工具顯微鏡係利用光學(xué)成像原理,以物鏡、目鏡等光學(xué)透鏡將待測物放大成像,并輔以X- Y微調(diào)移動定位機構(gòu)與光學(xué)尺等精密位移量測組件,進行各項孔徑與圓柱體外徑等機械尺寸之測定。
工具顯微鏡主要的應(yīng)用與用途有投影測定器及工具顯微鏡兩種。這類使用光學(xué)成像原理的量測機具有以下
幾點共同特性:
(1)採非接觸測定,故最適合容易變形測定物之測定;
(2)使用其他附屬設(shè)備,即可輕易測定更複雜形狀之測定物;
(3)操作簡單,可進行孔徑測定與圓柱體外徑測定;及
(4)可加上夾具、旋轉(zhuǎn)臺與X-Y工作臺等配件,
控制和調(diào)整待測物的觀察角度與位置。
工具顯微鏡的應(yīng)用測定,可包括下列幾項:(1)直角座標(biāo)測定;(2)極座標(biāo)測定;(3)角度測定;(4)高度測定;(5)孔徑測定;(6)圓柱體外徑測定;(7)螺紋測定;及(8)測定精度等。
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